離子濺射儀用于在SEM中涂覆非導(dǎo)電樣品，使樣品具有良好的導(dǎo)電性并避免充電效應(yīng)，從而看到更好的電子顯微鏡效果。金噴涂儀的原理是離子濺射。離子濺射金噴涂儀可用于大多數(shù)樣品，特別是熱敏生物樣品，而碳鍍儀用于熱蒸發(fā)。由于涂覆過程會產(chǎn)生高溫，因此不適合涂覆熱敏樣品。
離子濺射儀的應(yīng)用領(lǐng)域：
1、在光學(xué)領(lǐng)域：中頻閉場非平衡磁控濺射技術(shù)也應(yīng)用于光學(xué)膜(如抗反射膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃。
2、在裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用，如各種全反射膜和半透明膜，如手機外殼、鼠標(biāo)等。
3、作為一種非熱涂層技術(shù)，應(yīng)用于微電子領(lǐng)域。各種功能薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏振等功能的薄膜。例如，在低溫下沉積氮化硅抗反射膜以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
4、化學(xué)氣相沉積(CVD)難以生長，不適合材料膜沉積，并且可以獲得大面積的非常均勻的膜。
5、在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池和記憶合金薄膜的研究中發(fā)揮著重要作用。
6、在機械加工行業(yè)，表面功能膜、超硬膜和自潤滑膜的表面沉積技術(shù)自誕生以來取得了長足的進步，可以有效提高表面硬度、復(fù)合韌性、耐磨性和高溫化學(xué)穩(wěn)定性，從而大大提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。
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